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亦称为恒温槽，是一款兼具制冷、加热功能的恒温控温装置，工作方式有两种：一是在槽内进行恒温实验，二是和其他设备相连，将槽内的介质引流出去，作为配套使用，称为外循环。
应用范围：对半导体制造装置发热部的冷却：单晶片洗净转载、印刷机、自动夹座安装装置、喷涂装置、离子镀装置、蚀刻装置、单晶片处理装置、切片机、包装机、显影剂的温度管理、露光装置、生磁部分的加热装置等。对激光装置发热部分的冷却：激光加工、熔接机的发热部分、激光标志装置、发生装置、二氧化碳激光加工机等。
选购恒温槽时要考虑哪些事项？
一、控温范围。控温范围指的是用户所需要恒温的温度点，通过温度点确认所需要的温控范围。
二、温度波动度。温度波动度亦指的是低温恒温槽的控温精度。
三、内、外循环的选择。用户选择低温恒温槽时需要考虑实验是在槽内进行还是要接外循环。如果是接外循环，则用户需要考虑循环泵流量：指的是泵流速的大小，即每分钟循环多少升。
对恒温油槽进行定期的维护保养是一件*的的事，有很多看似故障的毛病其实就是没有定期做维护保养引起的。低温恒温油槽维护和保养：
1、水中含有少部分的杂质，仪器使用完排出槽内的介质后，及时清理槽内留下的杂质；
2、长期停用仪器的情况下，保持槽内的干燥，以免为微生物的繁殖创造有利的环境，影响仪器的使用寿命；
3、排风口处要经常清理灰尘杂质，以免影响散热，造成制冷效果下降。
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更新时间：2020-07-27
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